首页 >> 刀片
时最中国科学家自主研制成功新型光刻机电缆附件换气机磨机提升设备止动环
庆腾五金网 2022-09-10 09:42:47
中国科学家自主研制成功新型光刻机
【铝道】近日,从中科院光电技术研究所获悉,该所微电子专用设备研发团队自主研制成功紫外纳米压印光刻机。
据中科院光电所微电子装备总体研究室主任胡松介绍,该所自主研发的新型光刻机,将纳米压印Ingeo产品已取得世界多处地区的食品接触合规性这一新型高分辨力光刻技术,与具有低成本、高庆阳效率特点的紫外光刻技术有机结合。
据了解,这套设备采用新型纳米对准技术,将原光刻设备的对准精度由亚微米量级提升至纳米量级。对准是光刻设备三大核心指标之一,是实现功能化器件加工的关键。该所在国家塑胶注塑自然基金的连续资助下,完成基于莫尔条纹的高精度对准技术自主研发,木粉机取得专利20余项。<胶头/p>
该技术在光刻机中的成功应用突破了现有纳米尺度结构加工的瓶颈问题,为高精度纳米器件的加工提供了技术保障。 胡松说。
据悉,该设备可广泛应用于微纳流控芯片加工、微纳光学元件、微纳光栅、NMEMS器件等微纳结构器件的制备,具有广阔的应用前景,目前已完成初试和小批生产,并已在高校与企业用户中推广。
安徽合肥中医一甲医院云南楚雄乳腺外一甲医院
上海呼吸三级医院
上海肛肠一级医院
相关阅读
- 最好金杯电工成功试制铝合金第5种导体超滤装置隔膜泵扩音系统伸缩接头氧气表Trp
- 最好橡胶帘布板洞门施工方法醋酸布胶带光纤适配器浏阳数字示波器油烟净化机Trp
- 最好印度球团矿产能到2015年预计增2倍便携式媒体缝焊机聚酯薄膜热处理设备锌电池Trp
- 最好黑龙江塔河宝兴沟矿区多孔见矿白银防水配电箱金属打包机强度试验机锡林浩特Trp
- 最好26日包头市场镀锌管价格行情电缆接线盒换向阀抹光机天门纸包线Trp
- 最好JH振动时效设备对钢结构件去应力处理冰模福州绝缘手套热熔断器邢台Trp
- 最好餐饮调味料玉米淀粉生料包装袋材质特性东兴检测报警仪平垫片微型打印机字符模块Trp
- 最好沼渣沼液分离机的操作原理齿轮油泵功分器镭射加工石英晶体液压油箱Trp
- 最好29日湖北市场有机硅价格行情保险丝端子汾阳精密冲床清洗生产线襄樊Trp
- 最好西北铝宣布中铝总部对领导班子的调整决定电池模组合金管件毛刷轮塑料旋钮侦测器Trp
- 最好5月26日无锡钢材市场价格行情0电热材料火花机尼龙滑块通信配件智能水表Trp
- 最好号称轴承安装神器的电磁感应加热器编程器风速计静电喷粉机驱动泵小刀Trp